序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包1 | 8吋特征尺寸测量用扫描电子显微镜 | 1台 | 详见招标文件 | |
ReviewSEM设备 | 1台 | 详见招标文件 | ||
包2 | 8吋金属刻蚀设备 | 1台 | 详见招标文件 | |
包3 | 8吋钨化学机械研磨设备 | 1台 | 详见招标文件 | |
包4 | 8吋浅沟槽隔离二氧化硅沉积设备 | 1台 | 详见招标文件 | |
8吋金属有机物化学气相沉积设备 | 1台 | 详见招标文件 | ||
包5 | 8吋钝化层二氧化硅沉积设备 | 1台 | 详见招标文件 | |
8吋钝化层氮化硅沉积设备 | 1台 | 详见招标文件 | ||
8吋SACVD(USG&HARPUSG)膜沉积设备 | 1台 | 详见招标文件 | ||
8吋SACVD BPSG膜沉积设备 | 1台 | 详见招标文件 |
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