中国仪器进出口集团 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-30在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：多靶溅射机设备数量：1台设备用途：该设备主要用于硅平面、介质层及金属层表面Ti、Au、Pt、Cr等粘附层、阻挡层、与种子层的磁控溅射工艺，以及需要采用shadow mask溅射工艺来制备PAD、镜面等。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614025招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 多靶溅射机 | 1套 | 机台规格为全新机台，适用晶圆尺寸：8英寸，notch，基片托盘：≥10个，预真空室可装载至少10个基片托盘，每个基片托盘可装载1片基片；
设备配置：磁控阴极≥4个，阴极靶材尺寸≥6英寸；具有Loadlock（装载模块）；传输模块装有机械手，可实现晶圆在Loadlock（装载模块）和工艺模块之间的传输；具备反溅清洗功能及加热除气功能；
高真空腔室：配置腔室防污罩（Processkits）4套以上，以及配备观察窗； | |
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。（2）凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。（3）与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得参加投标。（4）接参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加一家代理商参与本项目投标。同一品牌的制造商和代理商不能同时参加本项目的投标。（11）投标人可以是设备制造厂家或设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。（12）投标人可以是设备制造厂家或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。要求2020年至今同类型设备出货量与验收数量大于【5】台，国产设备与再制造厂商提供合同和验收材料，进口全新设备出具盖章的业绩说明材料。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在
中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上
注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
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备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co
