苏美达国际技术贸易 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:品目1设备名称:氧化清洗湿台设备数量:1台设备用途:本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。品目2设备名称:标准清洗湿台设备数量:2台设备用途:本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。品目3设备名称:硫酸去胶湿台设备数量:1台设备用途:本设备适用于八寸晶圆光刻胶去除清洗工艺,采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通过化学反应达到光刻胶去除、清洗的作用。品目4设备名称:有机去胶湿台设备数量:1台设备用途:本设备适用于八寸晶圆聚合物去除工艺,采用EKC溶液和NMP溶液通过化学反应达到去除聚合物和光刻胶的目的。品目5设备名称:BOE湿台设备数量:1台设备用途:本设备适用于八寸晶圆二氧化硅腐蚀、氮化硅腐蚀工艺,采用HF、NH4F、H3PO4溶液通过化学反应达到腐蚀二氧化硅和氮化硅的目的。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2440SUMECF20/02招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台、BOE湿台 项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 氧化清洗湿台 | 1 | 气压控制:具有氮气、CDA、排风具备压力监控功能。其他参数详见第八章 | 无 |
2 | 标准清洗湿台 | 2 | 水气枪:配有进口PP水气枪。其他参数详见第八章 | 无 |
3 | 硫酸去胶湿台 | 1 | 测漏感知:设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液,防漏盘上的漏液能通过排放端口排走。其他参数详见第八章 | 无 |
4 | 有机去胶湿台 | 1 | 移门:有机玻璃移门,配有检测门开传感器,具有联动互锁功能。其他参数详见第八章 | 无 |
5 | BOE湿台 | 1 | 定位其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。② 投标方可以是设备制造厂商或设备再制造厂商,也可以是设备授权代理商,代理商需具有设备制造厂商的有效授权书。③ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供承诺书,格式自理)。⑤ 单位负责人授权书原件。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在
中国电力招标采购网(www.dlztb.com)上
注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件!
项目 联系人:李杨
咨询电话:010-51957458
传真:010-51957412
手机:13683233285
QQ:1211306049
微信:Li13683233285 邮箱:1211306049@qq.com
备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告,中标公示等,并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准,以招标业主的解答为准本。
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