甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目国际招标公告(1)

对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-01-12在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购化学机械抛光机（金属）设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各1套。资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。2、招标内容招标项目编号:0762-2441CBNB2001招标项目名称:甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	化学机械抛光机（金属）设备	1套	将待抛光晶圆在一定的分区下压力及抛光液(由超细磨料颗粒、化学氧化剂和表面活性剂等液体介质组成的混合液)的作用下相对于一个抛光垫作旋转运动，借助磨粒的机械磨削及液体介质的腐蚀作用来选择性完成对晶圆表面金属材料（Ti、TiN、Ta、TaN、W、TiW、Cu等）去除，并获得光洁表面。
2	等离子体增强化学气相沉积设备	1套	借助微波或射频使气体电离，局部形成等离子体，在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO2、SiNx、SiON、P-doped SiO2、Ge-doped SiO2、BPSG、FSG等薄膜。
3	高深宽比磁控溅射设备	1套	使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层（Ti或Ta）及电镀种子层（Cu），防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！

项目 联系人：李杨  
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备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。

编辑：chinabidding.co