序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | TEG探针架 | 1台 | (1)阵列TEG主要用于阵列段M2/Final工艺后电学特性测试,主要测量项目有:晶体管特性、关电流 、开电流 、阈值电压 、电容值 、电阻值等。 (2)基板尺寸 : 730mm ×920mm(±0.5mm); (3)基板厚度:0.3t ~0.7t mm; (4)设备尺寸:宽4000mm,长4500mm以内(含维保区域)。 | 0730-244010020005-01 |
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