序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 立式高温氧化炉 | 3台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
2 | 立式高温退火炉 | 5台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
3 | 立式中温氧化炉(无L/A N2吹扫) | 3台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
4 | 立式中温氧化炉(有L/A N2吹扫) | 1台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
5 | 立式低温合金炉 | 1台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
6 | 钨金属气相沉积设备 | 1台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
7 | 氮化钛金属气相沉积设备 | 1台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
8 | 硅/多晶硅干法刻蚀 | 2台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
9 | 金属干法刻蚀 | 2台 | 具体要求见第八章货物需求一览表及技术规格 | ★全新设备 |
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