上海交通大学大面积扫描电子显微成像分析系统国际招标公告(1)

对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-12-04在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海交通大学拟采购1套大面积扫描电子显微成像分析，可对纳米结构关键尺寸进行精确的测量，并可对晶圆表面以及纳米结构进行缺陷复检资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0773-2341SHHW0111招标项目名称:上海交通大学大面积扫描电子显微成像分析系统项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	大面积扫描电子显微成像分析系统	1套	★2.1.7提供激光干涉工作台，该工作台的移动范围不小于150 x 150 x 20mm， 其中XY方向的分辨率不大于1nm。★2.1.7 Configure a laser interferometer stage with a movement range of no less than 150 x 150 x 20mm, with a resolution of no more than 1nm in the XY direction。其余详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”	交货期：签订合同后12个月内 交付 邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发 5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2023-12-26 09:30投标文件 评标结果将在必联网和 公示。7、联系方式招标人:上海交通大学地址:上海市闵行区东川路800号

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项目 联系人：李杨  
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编辑：chinabidding.co